Matches in DBpedia 2016-04 for { <http://doi.org/10.1109/tmech.2013.2273435> ?p ?o }
Showing triples 1 to 28 of
28
with 100 triples per page.
- tmech.2013.2273435 doi "10.1109/TMECH.2013.2273435".
- tmech.2013.2273435 first1 "Hendrik".
- tmech.2013.2273435 first10 "Kurt".
- tmech.2013.2273435 first2 "Barak".
- tmech.2013.2273435 first3 "Ahmed".
- tmech.2013.2273435 first4 "Reiner".
- tmech.2013.2273435 first5 "Uwe".
- tmech.2013.2273435 first6 "Andreas".
- tmech.2013.2273435 first7 "Srikanth".
- tmech.2013.2273435 first8 "Benjamin".
- tmech.2013.2273435 first9 "Guenther".
- tmech.2013.2273435 isCitedBy Virtual_metrology.
- tmech.2013.2273435 issue "1".
- tmech.2013.2273435 journal "IEEE - ASME Transactions on Mechatronics".
- tmech.2013.2273435 last1 "Purwins".
- tmech.2013.2273435 last10 "Weinzierl".
- tmech.2013.2273435 last2 "Bernd".
- tmech.2013.2273435 last3 "Nagi".
- tmech.2013.2273435 last4 "Engel".
- tmech.2013.2273435 last5 "Hoeckele".
- tmech.2013.2273435 last6 "Kyek".
- tmech.2013.2273435 last7 "Cherla".
- tmech.2013.2273435 last8 "Lenz".
- tmech.2013.2273435 last9 "Pfeifer".
- tmech.2013.2273435 pages "1–8".
- tmech.2013.2273435 title "Regression Methods for Virtual Metrology of Layer Thickness in Chemical Vapor Deposition".
- tmech.2013.2273435 volume "19".
- tmech.2013.2273435 year "2014".