Matches in DBpedia 2016-04 for { <http://doi.org/10.1016/s0924-4247(97)80511-0> ?p ?o }
Showing triples 1 to 13 of
13
with 100 triples per page.
- s0924-4247(97)80511-0 doi "10.1016/S0924-424780511-0".
- s0924-4247(97)80511-0 first1 "J. T. L.".
- s0924-4247(97)80511-0 first2 "W. K.".
- s0924-4247(97)80511-0 first3 "C. W.".
- s0924-4247(97)80511-0 isCitedBy Tetramethylammonium_hydroxide.
- s0924-4247(97)80511-0 journal "Sensors and Actuators A: Physical".
- s0924-4247(97)80511-0 last1 "Thong".
- s0924-4247(97)80511-0 last2 "Choi".
- s0924-4247(97)80511-0 last3 "Chong".
- s0924-4247(97)80511-0 pages "243–249".
- s0924-4247(97)80511-0 title "TMAH etching of silicon and the interaction of etching parameters".
- s0924-4247(97)80511-0 volume "63".
- s0924-4247(97)80511-0 year "1997".