Matches in DBpedia 2015-10 for { <http://doi.org/10.1016/0167-9317(90)90122-A> ?p ?o }
Showing triples 1 to 13 of
13
with 100 triples per page.
- 0167-9317(90)90122-A doi "10.1016/0167-931790122-A".
- 0167-9317(90)90122-A first1 "K".
- 0167-9317(90)90122-A first2 "M".
- 0167-9317(90)90122-A first3 "H".
- 0167-9317(90)90122-A isCitedBy X-ray_lithography.
- 0167-9317(90)90122-A journal "Microelectronic Engineering".
- 0167-9317(90)90122-A last1 "Early".
- 0167-9317(90)90122-A last2 "Schattenburg".
- 0167-9317(90)90122-A last3 "Smith".
- 0167-9317(90)90122-A pages "317".
- 0167-9317(90)90122-A title "Absence of resolution degradation in X-ray lithography for λ from 4.5nm to 0.83nm".
- 0167-9317(90)90122-A volume "11".
- 0167-9317(90)90122-A year "1990".